集成電(diàn)路電(diàn)子級超纯水(shuǐ)系(xì)統ICM-E -
産品簡介
系(xì)統概述
駭思HyperPureX ICM-E系(xì)列集成電(diàn)路電(diàn)子級超纯水(shuǐ)系(xì)統以(yǐ)嚴謹的(de)合規性(xìng)指導系(xì)統的(de)設計(jì)、制造、安(ān)裝(zhuāng)和(hé)验(yàn)證的(de)全(quán)过(guò)程，以(yǐ)模块化(huà)的(de)設計(jì)集成了多介质过(guò)濾、活性(xìng)炭吸附、软(ruǎn)化(huà)、二(èr)級RO2nd、脫气(qì)、EDI、超濾、紫外(wài)殺菌和(hé)TOC降解(jiě)、樹(shù)脂超纯化(huà)、以(yǐ)及(jí)終(zhōng)端微濾各(gè)纯化(huà)單元(yuán)，廣泛應(yìng)用(yòng)于半導體(tǐ)晶圆(yuán)及(jí)液晶屏清洗、芯片(piàn)等各(gè)種(zhǒng)精密電(diàn)子元(yuán)器件(jiàn)的(de)加工和(hé)制造。
水(shuǐ)质标(biāo)准
GB/T 11446.1-2013、GB/T 33087-2016、ASTM D1193-06等規定(dìng)的(de)水(shuǐ)质标(biāo)准
工藝路徑
1. 預處(chù)理(lǐ)系(xì)統+二(èr)級反(fǎn)滲透RO2nd系(xì)統+脫气(qì)系(xì)統+EDI系(xì)統+超纯化(huà)系(xì)統+储存分(fēn)配系(xì)統
性(xìng)能(néng)特(tè)點(diǎn)
10“彩色(sè)觸控屏及(jí) PLC控制模块且(qiě)具有物(wù)联网(wǎng)（IOT）和(hé)雲(yún)平台(tái)功能(néng)的(de)全(quán)自動(dòng)控制系(xì)統；
模块化(huà)設計(jì)理(lǐ)念，結構緊凑，便于操作(zuò)及(jí)後(hòu)期(qī)維護；整套(tào)設備可(kě)以(yǐ)完全(quán)排空(kōng)設計(jì)；可(kě)根(gēn)據(jù)客戶原水(shuǐ)水(shuǐ)质優化(huà)調整工藝路線(xiàn)；系(xì)統内部(bù)部(bù)分(fēn)濃水(shuǐ)可(kě)回(huí)收，可(kě)提(tí)高(gāo)系(xì)統回(huí)收率至(zhì)80%以(yǐ)上(shàng)；确保过(guò)程檢验(yàn)、质量(liàng)監控、验(yàn)證文(wén)件(jiàn)符合用(yòng)戶需求；應(yìng)用(yòng)範圍液晶面(miàn)闆制作(zuò)、半導體(tǐ)晶圆(yuán)、芯片(piàn)等各(gè)種(zhǒng)精密電(diàn)子元(yuán)器件(jiàn)行業的(de)加工和(hé)制造